青岛微米自动化有限公司设计研发的同轴多工位精密直线平台，采用00级研磨大理石基座，力士乐精密级直线导轨，RENISHAW RGH22 0.1um分辩率直线光栅尺，自主研发生产的U型无铁芯直线电机。达到单轴重复定位精度0.3um，定位精度0.6um，负载10kg，最大加速度20m/s2，最大速度1.3m/s，其大理石结构的高稳定性，和高机械刚性，使其XY双动子多工位能够完成高精度、低噪音、高动态响应的快速平稳运行。能够实现高低速精准定位和XY轨迹扫描等运行控制模式。
